Beneficiile gravurii uscate folosind o sursă de alimentare pulsată?

Care sunt avantajele modului Pulse peste modul continuu de putere a undelor? Ce sunt modurile pulsate vs. continuu de putere a undelor?

Așa cum se arată în figura de mai sus, prima este CW, undă continuă. Unda continuă (CW) se referă la o formă de undă care este continuă și constantă în timp, cu putere și intensitate constantă. De obicei, apare ca un semnal cu o singură frecvență, cu un spectru îngust și o ieșire stabilă. Puterea medie a CW este egală cu puterea de vârf, iar caracteristicile semnalului sunt simple și ușor de controlat. Principalul avantaj al CW este stabilitatea sa ridicată, ceea ce îl face ideal pentru aplicații în care continuitatea semnalului este critică. În același timp, semnalul CW are un nivel scăzut de zgomot, ceea ce facilitează măsurarea și analiza exactă. În plus, proiectarea sistemului CW este relativ simplă, iar parametrii de control, cum ar fi puterea și frecvența, pot fi ajustați cu ușurință. În modul CW, puterea de putere este o formă de undă continuă, fără impulsuri de șmecher.

0040-31980 Cutie de gaz EC WXZ

Al doilea este PW, putere pulsată. O undă puls este o formă de undă care este întreruptă în timp și constă dintr -o serie de semnale cu intensitate ridicată pe o perioadă scurtă de timp. Impulsurile au o durată limitată și se repetă după o anumită perioadă de timp. Unda puls are caracteristicile puterii de vârf instantanee mult mai mari decât puterea medie, iar spectrul de ieșire este larg și conține mai multe componente de frecvență. Cel mai mare avantaj al undei pulsului este puterea sa instantanee ridicată de vârf, care poate elibera o energie extrem de mare într -o perioadă scurtă de timp. În plus, datorită producției intermitente a semnalului, puterea medie a undei pulsului este scăzută, ceea ce reduce efectiv presiunea de încărcare a căldurii a echipamentului. Drept urmare, este ideal pentru aplicații care necesită o rezoluție temporală ridicată sau o putere mare instantanee. În modul PW, puterea de ieșire a sursei de alimentare este o parte a timpului și la o parte a timpului.

0040-09095 casetă de gaz, wcvd
Caracteristici ale surselor de alimentare pulsate?
1, lucrările de interval pot disipa căldura în timp, astfel încât reactanții să poată avea timp să se transporte pe suprafața plafonului.

2, puterea de ieșire poate fi crescută într -o măsură foarte mare, durata este extrem de scurtă, iar puterea pulsului, frecvența, timpul etc. poate fi controlată foarte precis.
Beneficiile utilizării modului Pulse?
1, eliminați efectele microloadului. În gravura structurală cu raporturi de aspect ridicat, cum ar fi găuri adânci sau caneluri adânci. Găurile sau sloturile de dimensiuni mai mici au o rată de gravură mai mică decât găurile sau sloturile de dimensiuni mai mari. Dacă se utilizează modul CW, efectul microloload poate fi îmbunătățit prin reducerea presiunii și creșterea tensiunii de prejudecată, dar capacitatea de a îmbunătăți este limitată, în timp ce efectul microload poate fi îmbunătățit mult prin utilizarea modului Pulse.

2, reduce deteriorarea suprafeței plafonului. Dacă impulsurile sunt utilizate la o aprovizionare cu prejudecăți, timpul necesar pentru ca plasma să atace placa poate fi redus, ceea ce la rândul său reduce deteriorarea suprafeței.