Ce metode de acoperire pot crește filmele subțiri cu un singur cristal?

Care este diferența dintre echipamentele CVD, PVD și epitaxiale?

Categorie de BCV, PVD și proces epitaxial

CVD, PVD,?
CVD: LPCVD, APCVD, SACVD, PECVD, HDPCVD, FCVD, MOCVD etc.
PVD: evaporarea fasciculului de electroni, pulverizarea magnetronului, PLD (depunere cu laser pulsat), etc.

Epitaxială: epitaxie cu fascicul molecular MBE, epitaxie în fază gazoasă VPE, epitaxie în fază lichidă LPE, epitaxie în fază solidă SPE etc.

Printre acestea, CVD, PVD și epitaxia sunt similare în principiu și există multe modalități de a le clasifica, iar cele de mai sus este metoda mea de clasificare.

Mecanismul de formare a filmuluiCVD, PCVDşiEpitaxiale?

După cum se arată în figura de mai sus, nu este de mirare că cele trei metode de mai sus de depunere a filmului subțire sunt cele de mai sus:

Mod de creștere 2D strat cu strat În această metodă de acoperire, creșterea filmului subțire se realizează strat cu strat și fiecare strat de atomi sau molecule acoperă complet suprafața plachetei înainte de a începe următorul strat. Acest mod de creștere poate avea ca rezultat suprafețe de film foarte plate, cum ar fi structuri superlatice.

Creșterea insulei 3D (Volmer-Weber)

În acest mod, creșterea filmului nu mai este strat cu strat, ci mai degrabă formarea de insule discontinue în unele zone localizate ale suprafeței plachetei, care cresc treptat și în cele din urmă acoperă întreaga plachetă. Forța de interacțiune dintre filmul rezultat și substrat este slabă, iar energia liberă de suprafață a filmului este mare.

Creștere în mod mixt În acest mod de creștere

Filmul va crește inițial strat cu strat pentru o perioadă de timp, iar când atinge o anumită grosime, din cauza acumulării de stres, începe să formeze o structură asemănătoare insulei. În general, metodele care pot crește filme subțiri monocristaline includ epitaxie cu fascicul molecular MBE, epitaxie în fază gazoasă VPE, epitaxie în fază lichidă LPE, epitaxie în fază solidă SPE, MOCVD, PLD (depunere cu laser pulsat). Modul de creștere 2D strat cu strat facilitează formarea monocristalelor, în timp ce CVD și PVD pot fi folosite pentru a genera cristale policristaline sau amorfe prin ajustarea condițiilor de proces.