Care este efectul presiunii camerei asupra gravării?

Ce esteEefect deChamberPasigura peEzgârieturi?

Cum este reglată presiunea din cameră? Care este efectul asupra rezultatelor gravurii?

Ce este presiunea camerei? Presiunea camerei se referă la presiunea gazului din camera de proces a echipamentului de gravare, de obicei măsurată în Torr sau Pascal.

o Ce determină presiunea camerei?
1. Cu cât debitul de gaz este mai mare, cu atât presiunea este mai mare.
2. Pompa de vid este aerisită, iar cu cât viteza pompei este mai mare, cu atât presiunea în cameră este mai mică.

o Efectul presiunii camerei asupra gravării
1.Energia de bombardament ionic. Presiune joasă, cale liberă medie mare a moleculelor, probabilitate mică de coliziune a ionilor, mai puțină disipare a energiei, deci energie mare.
2. Raportul dintre ioni și radicalii liberi. La presiune scăzută, proporția de ioni este mare, ceea ce favorizează gravarea fizică. La presiune mare, proporția mare de radicali liberi favorizează gravarea chimică.

Uniformitate gravare. La presiune ridicată, coliziunile de înaltă frecvență vor reduce debitul de gaz, iar radicalii liberi vor difuza mai ușor în toate părțile suprafeței plachetei, inclusiv în zona marginii, iar concentrația de reactanți expuși pe întreaga suprafață a plachetei va fi uniformă, iar rata de gravare va tinde să fie aceeași.

Rezumat
0020-24896 INEL CAPACĂ 6" SST 101 AL

0020-28205 6" TI COVER INEL
Odată cu creșterea presiunii în cameră, reacția de gravare se transformă treptat de la gravarea fizică la gravarea fizică + chimică la gravarea chimică.