Care este atomizarea de reacție a cuptorului de reducere a polisiliciului

Ce esteRacţiuneAtomizare aPolysiliconReducațieFurnă

Cuptorul de reducere cu polisiliciu este echipamentul de bază pentru producerea de polisiliciu, iar atomizarea prin reacție a cuptorului de reducere cu polisiliciu se referă la reacția de cracare termică a clorosilanului în cuptorul de reducere datorită acțiunii temperaturii înalte, rezultând pulbere de silice fină, care formează o ceață în spațiul fazei gazoase din cuptor, adică așa-numitul fenomen de atomizare. Dacă este lăsată necontrolată, această atomizare poate duce la particule neregulate sau la apariția unor straturi interioare interne pe suprafața tijelor de polisiliciu, afectând calitatea produsului.

După ce apare fenomenul de atomizare, există de obicei modificări ale parametrilor:

· Temperatura gazelor de evacuare reductoare crește rapid;

· Tensiunea de reducere scade rapid;

· Puterea reacției de reducere scade și ea rapid

· Temperatura apei de retur a apei cuptorului crește.

Există multe motive pentru atomizarea în cuptorul de reducere a polisiliciului, inclusiv, dar fără a se limita la, temperatura ridicată a suprafeței tijei de polisiliciu în cuptorul de reducere, fluxul insuficient de hidrogen al materiilor prime, fluxul total insuficient de materii prime sau conținutul necorespunzător de diclorură de siliciu. Măsurile care pot fi luate pentru a controla atomizarea includ reducerea temperaturii suprafeței tijei, creșterea fluxului de hidrogen, creșterea debitului total de materie primă sau controlul conținutului de diclorodihidrogen silan.

Debitul total al materialului este insuficient sau conținutul de siliciu diclorodihidrogen este impropriu. Măsurile care pot fi luate pentru controlul atomizării includ reducerea temperaturii suprafeței tijei, creșterea fluxului de hidrogen, creșterea debitului total de materie primă sau controlul conținutului de diclorodihidrogen silan.

În plus, odată cu aprofundarea cercetărilor privind controlul optim al cuptorului de reducere, se constată că cuptorul de reducere poate avea ca efect reducerea consumului de energie în diferite stări de atomizare. Pentru a obține un anumit grad de funcționare a marginii cardului de limită de atomizare, care poate nu numai să reducă consumul de energie, dar și să asigure calitatea produsului. Totuși, din cauza lipsei unor metode eficiente de detectare a gradului de atomizare, strategiile de control existente sunt dificil de obținut rezultate satisfăcătoare.

Pentru a rezolva această problemă, au fost propuse un sistem și o metodă de detectare a gradului de atomizare a reacției de reducere a polisiliciului, incluzând un dispozitiv de detectare a gazelor de eșapament și un controler central. Prin detectarea modificării conținutului de fum de silice din gazele de eșapament, sistemul monitorizează digital gradul de atomizare în cuptor în timp real, iar operatorul poate ajusta parametrii cuptorului de reducere în timp în funcție de rezultatele detectării pentru a obține un control optim. .

În plus, este propusă o metodă de detectare a atomizării în cuptorul de reducere cu polisiliciu, care măsoară valoarea concentrației de praf prin instalarea unui detector de praf pe conducta de evacuare a gazelor de eșapament și calculează intervalul și variația pentru a aprecia gradul de atomizare în cuptor, deci încât să îndrume operatorul să facă ajustări. Aplicarea acestor tehnologii ajută la îmbunătățirea calității controlului cuptorului de reducere, la reducerea dificultății de funcționare și la asigurarea calității produselor din polisiliciu.